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Em consequęncia da crescente necessidade de materiais com melhores propriedades químicas, mecânicas e tribológicas tem-se observado, nas últimas décadas, um constante avanço nas técnicas de modificaçăo de superfícies devido ao fato destas possibilitarem novas aplicaçőes aos materiais. Dentre as técnicas de modificaçăo de superfícies encontram-se os tratamentos termoquímicos superficiais por plasma. Este trabalho apresenta, primeiramente, uma breve revisăo dos principais tratamentos termoquímicos realizados na indústria (cementaçăo, nitretaçăo e nitrocementaçăo) bem como a aplicaçăo destes tratamentos utilizando a tecnologia de plasma. Em seguida o trabalho apresenta uma nova abordagem sobre a utilizaçăo de tratamentos termoquímicos por plasma, empregando agora, o uso sequencial destes tratamentos num único material. No trabalho săo avaliados tratamentos sequenciais de nitretaçăo/cementaçăo e de nitrocementaçăo/cementaçăo tendo como substrato o aço AISI 1005. A caracterizaçăo microestrutural do material tratado foi realizada por microscopia óptica e microscopia eletrônica de varredura além de difraçăo de raios-X. Análises de microdureza também foram realizadas.