Nehodí sa? Žiadny problém! U nás môžete do 30 dní vrátiť
S darčekovým poukazom nešliapnete vedľa. Obdarovaný si za darčekový poukaz môže vybrať čokoľvek z našej ponuky.
30 dní na vrátenie tovaru
Rabota posvyashhena voprosu tehnologicheskogo osnashheniya mikrojelektronnogo proizvodstva. V knige privoditsya informaciya o naznachenii i konstrukcii jelementov tehnologicheskih ustanovok, obespechivajushhih serijnoe mikrojelektronnoe proizvodstvo. Rassmatrivajutsya sredstva sozdaniya i kontrolya vakuuma, metody i sredstva ispareniya materialov, poluchenie i kontrol' parametrov tonkih plenok, ustrojstva jepitaxial'nogo narashhivaniya, metody i sredstva polucheniya zashhitnyh dijelektricheskih sloev, metody i osnashhenie dlya legirovaniya poluprovodnikov. Privodimaya informaciya mozhet byt' polezna inzheneram, tehnologam, razrabotchikam mikrojelektronnyh izdelij, a takzhe studentam vysshih tehnicheskih uchebnyh zavedenij.